621.382.8
П163 3	Панкевич, Ігор     Прогнозування та модифікація лазерним випромінюванням властивостей шарів полікремнію в структурах "кремній-на-діелектрику" [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Держ. ун-т "Львів. політехніка". — Л., 1996. — 162 с.