621.382.8 П32 3 Підлипний, Юрій     Розробка моделей, методів та алгоритмів діагностики технологічних процесів виготовлення ІС [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / Держ. ун-т "Львів. політехніка". — Л., 1996. — 197 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт