Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.8Н5262Петров, Вячеслав Неорганічна фотолітографія [Текст] / НАН України, Ін-т проблем реєстрації інформації, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. — К. : ІМФ НАНУ, 2007. — 196 с. ISBN 966-00-0200-9
- Теми документа