539.293 Д39 2 Комаров, Ф. Ф.     Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии [Текст] / Ф.Ф. Комаров, А.П. Новиков, В.С. Соловьев, С.Ю. Ширяев. — Минск : Университетское, 1990. — 320 с. ISBN 5-7855-0192-9

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт