621.382.8 П37 2     Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / [Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс и др. ; под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина, Е. С. Машковой]. — М. : Мир, 1987. — 470 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт