546.2 М675 2 Миттова, Ирина     Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей [Текст] / Ирина Миттова. — Воронеж : Изд-во ВГУ, 1987. — 200 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт