621.384.6 А64 2 Ананьев, Олег     Высокочастотные источники ионов для ионной технологии [Текст] / Олег Ананьев, Дьячков Дьяченко, Владимир Павлов. — Киев : ИФ, 1990. — 32, [1] с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт