621.315.592.002 К217 2 Карбань, Валерий     Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / Валерий Карбань, Юрий Борзаков. — М. : Радио и связь, 1988. — 104 с. ISBN 5-256-00139-6

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	4	Перейти на сайт