621.382.8 Д182 2 Данилин, Борис     Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Борис Данилин. — М. : Энергия, 1977. — 136 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	6	Перейти на сайт