|
| 621.794.4 | Г944
2 | Гуляев, Ю. В.
Энергетические и конструктивные особенности установок СВЧ вакуумно-плазменного травления для создания устройств функциональной электроники с субмикронными размерами элементов [Текст] / Ю.В. Гуляев, Р.К. Яфаров. — М. : ИРЭ, 1988. — 44 с. | |
| | |
|
