621.382.8(075.8) Ч-689 2 Чистяков, Юрий     Физико-химические основы технологии микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие / Юрий Чистяков, Юлия Райнова. — М. : Металлургия, 1979. — 408 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт