621.315.592(06)
М744 2	Александров, Леонид     Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло [Текст] : [сб. ст.] / отв. ред. С. И. Стенин ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. — Новосибирск : Наука, 1991. — 165, [2] с.
ISBN 5-02-029696-1