621.315.592.002(075.8)
Т14 2	Таиров, Юрий     Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов [Текст] : учеб. для вузов по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники", "Микроэлектроника и полупроводник. приборы" / Юрий Таиров, Валерий Цветков. — М. : Высш. шк., 1990. — 422 с.
ISBN 5-06-001032-5