621.382.8 М99 2 Мягков, Алексей     Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники [Текст] / Алексей Мягков, Евгений Корсетов. — М. : Энергия, 1979. — 312 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт