621.382.8 А432 2     Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : межвуз. темат. науч. сб. / Таганрог. радиотехн. ин-т. — Таганрог : [б. и.], 1978. — 199 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	5	Перейти на сайт