621.357.8 П18 2 Пархутин, Виталий     Плазменное анодирование: физика, техника, применение в микроэлектронике [Текст] / Виталий Пархутин, Владимир Лобунов. — Минск : Навука и тэхніка, 1990. — 280 с. ISBN 5-343-00522-5

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	4	Перейти на сайт