621.382.8 В155 2 Валиев, Камиль     Физика субмикронной литографии [Текст] / Камиль Валиев. — М. : Наука, 1990. — 528 с. ISBN 5-02-014381-2

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт