621.382.8.002 М80 2 Моро, Уэйн     Микролитография: принципы, методы, материалы [Текст] : в 2 ч. / пер.с англ. Д. Ю. Зарослова ; под ред. Р. Х. Тимерова. — М. : Мир, 1990. — 632 с. ISBN 5-03-001717-8

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	6	Перейти на сайт