621.382.8.002 М80 2 Моро, Уэйн     Микролитография: принципы, методы, материалы [Текст] : в 2 ч. ; пер. с англ. / под ред. Р. Х. Тимерова. — М. : Мир, 1990. — 606 с. ISBN 5-03-001716-Х

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	6	Перейти на сайт