Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.002Ч-4982Черняев, Александр Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / Александр Черняев. — М. : Радио и связь, 1990. — 85, [2] с. ISBN 5-256-00740-8
- Теми документа