621.382.002(075.3)
Т384 2	Козырь, И. Я.     Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : учеб. для ПТУ : в 10 кн. / И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов, Ю.С. Чернозубов, А.С. Пономарев. — М. : Высш. шк., 1989. — 224 с.
ISBN 5-06-000303-5