535.5 Э474 3     Эллипсометрия. Теория, методы, приложения [Текст] : [материалы конф., 9 - 11 июля 1985 г.] / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. А. В. Ржанов, Л. А. Ильина. — Новосибирск : Наука, 1987. — 191 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт