Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.002Б2492Барил, Михаил Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] / Михаил Барил, Вячеслав Самойликов. — М. : Энергия, 1978. — 112 с.
- Теми документа