621.382.8(06) П781 3     Проблемы литографии в микроэлектронике [Текст] / отв. ред. Т. М. Махвиладзе. — М. : Наука, 1987. — 150 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт