621.382.8(063)
M65 3	Microcircuit engineering' 88 : Proceedings of the international conference on microlithography, sept. 20-22, 1988 Vienna, Austria [Текст] / ed. by F. Paschke et al. — Amsterdam etc. : OHM, 1989. — 653 p.
ISBN 0 444 87448 8