621.382.8 Г772 2 Гранкин, Илья     Высокоразрешающая неорганическая фотолитография [Текст] / Илья Гранкин, Анатолий Коломейко, Виталий Погребняк. — Киев : Вища школа., 1983. — 53 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт