| | Bychkovsky, Volodymyr Review of electrostatic driven micromirrors. Comparison of their rotation angle [Текст] / Volodymyr Bychkovsky, Mykhaylo Lobur // "Досвід розробки та застосування приладо-технологічних САПР в мікроелектроніці", X Міжнародна науково-технічна конференція (CADSM), 24-28 лют. 2009 р., Львів, Поляна, Україна : матеріали конф. / Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Л. : Вежа і Ко, 2009. — C. 500-503. |
| | |
|