621.382.8.002 (075.3) К659 2 Копыл, Георгий     Основы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств [Текст] : учеб. пособие для проф.-техн. училищ / Георгий Копыл. — Киев : Вища шк., 1992. — 414, [1] с. ISBN 5-11-002526-6

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	8	Перейти на сайт