621.382.8(075.8)
Б48 2	Березин, Андрей     Технология и конструирование интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" и "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / Андрей Березин, Ольга Мочалкина. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Радио и связь, 1992. — 320 с.
ISBN 5-256-01014-Х