621.382(075.8) М749 2 Мокеев, Олег     Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. пособие для техн. училищ / Олег Мокеев, Александр Романов. — М. : Высш. шк., 1979. — 272 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт