546.2 А697 2 Анохин, Валентин     Кинетика и механизм термического окисления кремния [Текст] : [монография] / [науч. ред. Я. А. Угай]. — Воронеж : Изд-во ВГУ, 1983. — 196 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт