621.382.8(075.8) | С301 2 | Семенець, Валерій Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології [Текст] : підруч. для студ. вищ. навч. закл., які навчаються за напрямом підготовки "Радіоелектрон. апарати" / Валерій Семенець, Ігор Невлюдов, Віктор Палагін. — Х. : ТОВ "Компанія СМІТ", 2011. — 416 с. |
| ISBN 978-966-2028-73-7 | |
|