533.99 И883 2 Кириченко, Георгий     Использование аномального тлеющего разряда для плазмохимической обработки кремния [Текст] / Георгий Кириченко, Константин Кругликов, Сергей Павлов, Вячеслав Слободян. — Киев : ИЯД, 1991. — 24 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт