| | Teslyuk, Vasyl Modeling of capacitive acclerometer constructions [Текст] / Vasyl Teslyuk, Bohdan Karkulyovskyi, Andriy Kernytskyy // Перспективні технології і методи проектування МЕМС : матеріали Четвертої міжнар. конф. молодих вчен. MEMSTECH' 2008, 21-24 трав. 2008, Львів, Поляна, Україна. / Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Л. : Вежа і Ко, 2008. — C. 208. |
| | |
|