621.382.002 Д699 2 Дорфман, Вениамин     Микрометаллургия в микроэлектронике. Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении [Текст] / Вениамин Дорфман. — М. : Металлургия, 1978. — 272 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт