621.385.002(075.8)
М545 2	Методические указания для курсового проекта дисциплины "Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов" для студентов специальности № 0567 "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение" [Текст] / Львов. политехн. ин-т, Каф. полупроводников. и электровакуум. машиностроения ; [сост. О. Б. Штанков]. — Львов : [б. и.], 1974. — 8 с.