621.38(075.8)
М545 2	Методические указания по дипломному проектированию для студентов специальности 0567 - "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение" [Текст] / Львов. политехн. ин-т ; [сост. О. Б. Штанков]. — Львов : ЛПИ, 1978. — 34 с.