016:621.382.8 | А64 2 | Аналіз технологічних процесів виготовлення інтегральних схем [Текст] / Держ. ун-т "Львів. політехніка", Наук.-техн. б-ка ; [уклад. М. В. Загачевська ; ред. рада: О. В. Шишка (голова) та ін.]. — Львів : Вид-во Держ. ун-ту "Львів. політехніка", 1996. — 46 с. |
| | |
|