Kogut, Igor     Simulation of 3D SOI-Structures for MEMS elements [Текст] / Igor Kogut, Victor Holota, Victor Dovhij, Anatoliy Druzhinin // Design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS : proc. of symp., Aix-en-Provence, France, 11-13 May 2011. — Grenoble, 2011. — P. 184-185.