621.793(075.8) | П845 2 | Проценко, Іван Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Текст] : навч. посіб. / М-во освіти і науки, молоді та спорту України, Сум. держ. ун-т. — Суми : Сум. держ. ун-т, 2011. — 231 с. |
| ISBN 978-966-657-336-3 | |
|