004.414
З-495 3	Зелінський, Андрій     Інформаційне та програмне забезпечення структурного синтезу мікроелектромеханічних систем [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.12 / М-во освіти і науки, молоді та спорту України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Л., 2012. — 140 с.