621.382.8 А432 2     Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : межвуз. темат. науч. сб. / Таганрог. радиотехн. ин-т ; [ редкол.: Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. — Таганрог : ТРТИ, 1979. — 159 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт