621.382.002 Б772 3 Бойко, Тарас     Низькотемпературна дифузія фосфору в кремній з твердих планарних джерел [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.03 / Держ. ун-т "Львів. політехніка". — Львів, 1996. — 150 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт