Физические и физико-химические основы ионной имплантации [Текст] : тез. IV Всерос. конф., с участием иностр. ученых, Новосибирск, 23-26 окт. 2012 р. / Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова. — 2012.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»		Перейти на сайт