621.382.8(063)
С285 2	VII Всесоюзная научно-техническая конференция по микроэлектронике [Текст] : тез. докл. конф., 7-10 окт.1975 г., Львов / АН СССР, АН УССР, М-во электрон. пром-сти СССР, Львов. политехн. ин-т. — Львов : [б. и.], 1975. — 296 с.