621.382.002 F34 3     Fotolithografie. Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie [Текст] / Hrsg. J. A. Fedotov, H.-J. Pohl. — Gemeinschaftsausgabe der Verl. — Berlin ; Moskau : Verl. Technik ; Sov. radio, 1974. — 336 S.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт