539.23.002.5
Д685 2	Сергеев, А. Г.     Доработка ионно-плазменной установки УРМЗ. 279. 014 системами контроля парциального давления газов в разрядной камере и толщины получаемых диэлектрических пленок [Текст] / АН УССР, Ин-т радиофизики и электроники. — Харьков : ИРЭ, 1980. — 16 с.