621.382.002 С95 2 Сысоев, Валерий     Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства [Текст] / Валерий Сысоев. — М. : Радио и связь, 1982. — 119 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт