621.382.8(06)
Ф503 2	Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике [Текст] : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: И. Г. Блинов (отв. ред.) и др.]. — М. : Изд-во МИЭТ, 1981. — 151 с.