535.5(063)
В852 2	Всесоюзная конференция "Эллипсометрия- метод исследования физико-химических процессов на поверхности твердых тел." [Текст] : тез. докл. II всесоюз. конф., 22 июня-1 июля 1981 г., Новосибирск / АН СССР, Ин-т физики полупроводников. — Новосибирск : [б. и.], 1981. — 146 с.